在振動分析領域,工程師面對的共同困境是:加速計只能量單點,雷射測振儀(LDV)只能逐點掃描,都無法同時看見整個結構的振型分佈。高速攝影機搭配 DIC(數位影像相關法)技術,一幀影像即可生成 435 個以上的虛擬量測點,完整還原全場位移與應變分佈圖,這是加速計和 LDV 無法做到的根本性突破。
三種振動量測工具比較
| 工具 | 量測原理 | 優點 | 缺點 | 最佳場景 |
|---|---|---|---|---|
| 高速攝影機 + DIC | 追蹤表面斑點位移,全場影像相關法 | 全場非接觸、千點同測、可視化振型 | 頻率上限 ~3–4 kHz(全解析);雜訊基底 ~100 nm | 振型分析、旋轉件、非重複衝擊 |
| 加速計(壓電/MEMS) | 壓電晶體或電容感測加速度 | 成本最低、設置快、頻率寬(0.5 Hz–14 kHz) | 單點量測、有質量附加效應、需接觸安裝 | 旋轉機械狀態監控、IoT 連續監測 |
| 雷射測振儀(LDV) | 雷射干涉儀量測都卜勒頻移 | 靈敏度最高(~1 nm)、頻率 >10 kHz | 逐點掃描慢、需重複激振、設備最貴 | MEMS 元件特性化、高頻 NVH 分析 |
實務建議:高速攝影機(DIC 全場振型)+加速計(ISO 合規數值),兩者互補非替代。高速攝影機找出「哪裡有問題」,加速計輸出 ISO 20816 合規報告。
五個「只能用高速攝影機」的場景
1. 旋轉葉片與服役中機械
服役中的渦輪葉片、風扇葉片完全無法安裝感測器。高速攝影機(如 AOS M-PRI 4,000fps)可在非接觸狀態下量測旋轉葉片的位移,不確定度 ±10 μm(業界量測實務參考值)。
2. DIC 全場應變圖
加速計只能量單點,DIC 一次取得全結構位移分佈圖。一幀影像自動生成 435 個虛擬量測點,空間密度遠優於加速計陣列(業界常見量測實務)。適合複合材料板、PCB 板級全場應變分析。
3. PCB 微振動與元件破壞可視化
輕薄 PCB 上最小加速計的質量已造成共振頻率偏移,且加速計無法顯示元件級破壞模式(錫裂起始點、銲錫斷裂位置)。高速攝影機可直接可視化 PCB 在衝擊過程中每個元件的動態行為。
4. 衝擊 / 瞬態(<1 ms 脈衝)
加速計頻寬上限約 1,600 Hz(最短可分辨半週期 ~0.3 ms);高速攝影機(AOS M-PRI 4,000fps,每幀 0.25 ms;SSZN SH6-113 最高 1,000,000 fps),同時捕捉 2,000+ 空間節點的動態行為。
5. 非接觸量測(高溫 / 帶電 / 機器人手臂)
高溫爐內部件、帶電導軌、主動運動的機器人手臂,物理上無法貼感測器。高速攝影機在 1–5 m 工作距離下仍可量測微米級位移。
台灣工業應用場景排序
| 排名 | 場景 | 市場規模 | 攝影機必要性 | 推薦機型 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | PCB / 電子 JEDEC 跌落測試(JESD22-B111 / IPC-9701) | 最大(消費電子/伺服器代工產業鏈,採購點數量龐大) | 不可替代(標準方法論點名) | AOS M-PRI / DITECT HAS-U1 |
| 2 | 工具機主軸顫振(台中精機聚落 200+ 廠商) | 大 | 高(振型可視化,ISO 17243-1) | AOS M-PRI / AOS L-PRI |
| 3 | 馬達 / 伺服驅動 R&D(工業馬達與伺服驅動業者) | 中 | 中(R&D 根因確認) | AOS L-PRI / Mega Speed MS180K V2 |
| 4 | MEMS 感測器製程(晶圓代工廠) | 小 | 低(LDV 為主流,攝影機輔助) | DITECT HAS-D73 |
振動頻率 vs 所需 fps 對照表(Nyquist 定理)
| 應用場景 | 目標振動頻率 | 建議幀率 | 推薦機型 |
|---|---|---|---|
| 旋轉機械(含 10 次諧波,10,000 RPM) | ~1,667 Hz | 5,000–10,000 fps | AOS M-PRI 4000 / AOS L-PRI |
| PCB 衝擊跌落(JEDEC B111) | 衝擊脈衝 <1 ms + 板振動 | 20,000–100,000 fps | AOS M-PRI 極速 / DITECT HAS-U1 |
| 音頻範圍振動(<20 kHz) | 最高 20 kHz | 60,000–80,000 fps | DITECT HAS-U1 |
| 超音波振動(>20 kHz) | 40 kHz 常用 | 80,000–160,000 fps | DITECT HAS-U1 |
| 主軸顫振(工具機 DIC 振型) | 500–5,000 Hz | 1,000–10,000 fps + DIC 軟體 | AOS M-PRI / AOS L-PRI + VIC-3D HS |
ISO 20816 標準角色解說
ISO 20816(2022 現行版)為 15 kW 以上機械的旋轉件振動速度評估標準(10–1,000 Hz,mm/s RMS),D 區間閾值 >7.1 mm/s RMS 須立即停機。
重要:ISO 20816 合規數值仍靠加速計輸出,高速攝影機 + DIC 做全場振型根因可視化,兩者是互補工具,不是替代關係。若客戶需要 ISO 合規報告,東茂建議搭配加速計同步量測,攝影機負責視覺化根因分析。
典型應用案例:PCB 跌落可靠度測試(JEDEC JESD22-B111)
JEDEC JESD22-B111 規定 PCB 在 1,500 G / 0.5 ms 半正弦波衝擊下的錫球存活測試。典型量測需求:
- 幀率:78,212 fps(每幀 12.8 μs,確保 0.5 ms 脈衝內有 ~40 幀)
- 解析度:足夠辨識 0.5 mm pitch 錫球的排列
- 觸發:與跌落台衝擊訊號 TTL 同步,觸發延遲 <1 μs
- 記錄:Ring Buffer 預錄(衝擊前 10 ms + 後 100 ms)
推薦機型:AOS M-PRI 4000(降解析極速 85,360 fps)或 SSZN SH6-113(極速 1,000,000 fps,全解析度 1,280×1,024 @ 13,800 fps)。
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