南科先進製程優先支援計畫 (STSP Exclusive)

南科 3nm 先進製程良率守護者

東茂科技 (HSC) 提供全台唯一「南科 2 小時進廠」計畫,專為晶圓封裝檢測與機台故障診斷量身打造。

📍 南科專屬優勢

  • 快速進廠:南部辦公室直供,縮短申報路延。
  • 精密校準:SSZN 3D 專屬對接。
  • 備機支援:現場提供斷鏈應急備用機。

🛡️ 技術防線

針對 CoWoS, HBM 等先進封裝製程,提供毫秒級微裂紋捕捉與熱變位分析。

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[技術灌漿] 高速影像分析於先進製程的物理邊界

在 3nm 與 2nm 先進製程中,微小的震動或熱位移可能導致嚴重的良率損失。HSC 的解決方案不僅是影像捕捉,更是基於物理模型的動態應力分析。透過 AOS 高速攝影機與 DITECT 位移追蹤,我們能在毫秒級尺度下,識別出 TSV (Through-Silicon Via) 填充過程中的微觀不穩定性。

關鍵權威指標: 捕捉頻率 10,000fps+, 位移精度 0.1μm, 4 小時園區即時進廠支援。

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